来源：分析测试百科网

　　扫描电镜是高能电子散射固体材料，可获得许多特征信号！

　　微观成像是扫描电镜基本功能，要求高分辨，so可为其他特征信号分析提供精确导航！

　　sem一般标配se探测器，用se信号获得高分辨像，且se信号可以充分代表扫描电镜电子光学性能。

　　why

　　se

　　not

　　other？

　　比靠斯：在电子束样品作用区，可能只有se取样面积与电子束斑尺寸最接近，且对其尺寸敏感！

　　敏感到啥程度？

　　例如样品是黄金，se1的取样面积和束斑面积相同。

　　bse也是常用成像信号，但对于黄金样品，电子探针束斑直径1nm

　　或

　　2nm，其空间分辨率没有差别。其信号取样范围直径和电子穿透深度相近，大多情况，其分辨率和加速电压相关较多。

　　总结：提到扫描电镜分辨率，大概就是在说这台电镜的性能，用se成像分辨率是最为精确的表达，主要影响因素为末级电子探针束斑直径和样品材质。