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德国Andreas Erdmann教授承担的“中国科学院外国专家特聘研究员”项目通过同行评议

　　4月14日，中科院上海光学精密机械研究所中科院强激光材料重点实验室组织专家对德国Fraunhofer IISB教授Andreas Erdmann承担的“中国科学院外国专家特聘研究员”项目(编号：2010T1G13)进行了同行评议。

　　与会专家听取了Andreas Erdmann教授的合作项目进展报告，一致认为：Andreas Erdmann教授在华工作期间，结合Dr.LiTHO这一先进光刻模拟软件的引进，对二维结构光栅模拟计算和光刻系统仿真的相关工作起到了重要的推动作用。在Erdmann教授的指导下，实验室在新型光栅结构设计上获得突破性进展，设计了130nm带宽效率高于98.5%的二维宽带全介质膜光栅开展了不同类型结构缺陷的光栅模拟计算及其对光栅近场分布的影响分析。面向相关专业技术人员，Erdmann教授举办了光刻仿真技术高级培训班，包含光刻技术、光刻物理机理和光刻模型模拟等主要内容。以上成果形成了3篇高质量的国际会议论文。

　　评议专家组认为该项目完成了研究内容，达到了预期目标，一致同意通过评议，双方就以今后的合作已达成初步协议。