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电感耦合等离子体质谱ICP-MS，是20世纪80年代发展起来的新的分析测试技术。它以独特的接口技术 将ICP-MS的高温电离特性与四极杆质谱计的灵敏快速扫描的优点相结合而形成一种新型的 元素和同位素分析技术。

电感耦合等离子体质谱仪用来测定超痕量元素和同位素比值，具有很低的检出限，基体效应小,谱线简单等特点，广泛应用于环境保护、食品安全、医药生物等很多领域。由等离子体发生器，雾化室，炬管，四极质谱仪和一个快速通道电子倍增管（称为离子探测器或收集器）组成。

工作原理：雾化器将溶液样品送入等离子体光源，在高温下汽化,解离出离子化气体,通过铜或镍取样锥收集的离子,在低真空约133.322帕压力下形成分子束,再通过1～2毫米直径的截取板进入四极质谱分析器，经滤质器质量分离后，到达离子探测器，根据探测器的计数与浓度的比例关系,可测出元素的含量或同位素比值。

电感耦合等离子体质谱ICP-MS优点：
 

ICP-MS的谱线简单，检测模式灵活多样：

1) 通过谱线的质荷之比进行定性分析；

2) 通过谱线全扫描测定所有元素的大致浓度范围，即半定量分析，不需要标准溶液，多数元素测定误差 小于20%；

3) 用标准溶液校正而进行定量分析，这是在日常分析 工作中应用zui为广泛的功能；

4) 同位素比测定是ICP-MS的一个重要功能，可用于地 质学、生物学及中医药学研究上的追踪来源的研究 及同位素示踪。