来源：分析测试百科网

1．光源发生器

光电光谱分析使用的光源发生器有火花发生器、电弧发生器和低压电容放电发生器等。
 

2．光源的电极架部分

用于装载块状试样、棒状试样和对电极。块状电极架一般能装直径20mm以上的平面试样，有的使用各种样品夹具能兼用于装棒状试样、小型试样和薄板试样。在真空光电光谱仪中，光源电极架具有使用氩气气氛的结构，氩气流量可以用流量计和自动阀来调节控制。
 

3．聚光装置

由聚光镜系统组成，其作用是把光源的光聚集起来，并使之射入分光系统。对于该系统一般要求能充分利用光源发出的光辐射，得到大的光强；同时要充分发挥仪器功能，达到应有的分辨能力。通常使用单透镜成像法、三透镜中间成像法和圆柱面透镜成像法，使光源发出的光成像于准直镜。
 

4．分光器

是由入射狭缝、分光元件和出射狭缝系统组成，进入入射系统的光，经分光元件分光，由出射狭缝系统选择各元素的谱线。由于铁的谱线很多，凶此最好用大色散的分光元件。分光器根据其内部是在真空下还是在非真空下使用，可分为真空型和非真空型两大类。
 

5．测光装置

由光电倍增管、积分单元、记录器或指示器等组成。内标线和分析线的光电倍增管将各自接收的从出射狭缝来的光，使之变成电流，再分别向积分电容充电。
 

6．真空型光电光谱仪的真空系统

由于硫、磷、碳、氮等元素的灵敏线位于200nm以下波段范围内，而这些波段的辐射将被空气吸收，因此，必须将光电光谱仪的光学系统置于真空之中，才能进行这些元素的分析。为此测定硫、磷、碳等元素时，必须使用真空光电光谱仪。真空光电光谱仪除一般光电光谱仪的装置外，还需增加真空系统和控制气氛两个装置。