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    在线质谱仪应用于工业流程进行过程分析，一般都是定量分析，而且都是多道的。多道质谱仪加速电压固定，在离子分离器离子出射端设多个出射狭缝，每个狭缝对应一个质荷比，用于检测气体试样中一种组分的含量。它可对工业流程中的气体或蒸汽进行定性、定量实时检测。它的特点是分析速度快，精密度高，可同时进行多组分分析。它的缺点是仪器价格高，维护量较大。
    在线质谱仪和实验室中用的质谱仪的原理结构基本相同。世界科技先进国家已成功地将过程质谱仪投入生产过程，仅美国PE公司就分别为世界各地的钢铁冶炼厂、化工厂、发酵厂等安装的过程测量多种气体的质谱仪达千台以上。中国在20世纪80年代已在化肥、钢铁、制药等工业部分使用，特别是在30万吨乙烯成套工程上的使用，取得饿了良好的效果。
    在线质谱仪分析速度特别快，只要几秒到20多秒就能对一种气流进行全面分析。乙烯本身是易燃、易爆的可燃气体，将乙烯与一定浓度的氧气和其他烃类进行氧化又是放热反应，更增加了生产的危险性。工艺人员要求及时正确地计算允许乙烯、氧气和其他烃类或惰性物质的混合物的可燃性极限，以及允许的最大氧浓度，这种计算的主要依据是应用在线质谱仪对反应进行实时的全组分分析测量的数据。