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球差

经轴上物点发出的电子束斜率较小者，可在理想伤平面中会聚成一个点。如果透镜光闹所决定的孔径角。A1、A2一分别为像方或物方的电子柬有效孔径角（或半张角）。因为孔径角为吨的实心锥形电子束中包含有从o”蝎不同孔径角的各电子束，它会聚在不同位置处，因此在理想像点与zui近透镜的像点之间的某处．必存在一zui小模糊圆。

式中各符号纳意义同式。电子光学中的球差是不可消除的。球差系数与透镜极靴的形状，焦炬等有关，故在仪器的设计中应尽量设法减小c的值。此外在使用中还可用物镜光闹扎的大小来调节束孔径角轧、从而减小球差的模糊斑。