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高纯度氢气发生器净化系统通常分为以下三种

1.硅胶/分子筛净化系统

　　硅胶和分子筛净化系统是高纯氢气发生器常用的净化装置。一般而言，使用硅胶进行初步脱水，分子筛进一步脱水。由于硅胶价格便宜、活化再生方便，应此硅胶/分子筛净化系统是使用zui为广泛的脱水方式。需要注意的是，当硅胶吸附水分之后，会由天蓝色变为粉红色，应当及时更换。

 2.变压吸附净化系统

　　变压吸附净化系统在氮气发生器中也常有使用。

　　变压吸附(PSA)是一项用于气体分离的技术，变压吸附(PSA)技术的基本原理是利用吸附剂及不同压力下对不同物质的吸附容量的不同从而达到气体分离的目的。其基本过程是在高压下吸附剂将气体中的杂质吸附，目标气体（H2）被吸附相对较少，穿过吸附层成为所需的气体；然后在低压下，被吸附的杂质气解吸出来。这样的过程反复循环，zui终的得到高纯的产品气体（H2）。

3.钯薄膜净化系统

　　除了上述两种净化方式之外，还有一种钯薄膜的净化系统（应用较少），其基本原理是利用高温下只有氢原子才能穿透钯银合金薄膜的特性来进行净化。当氢原子穿透钯银合金薄膜之后，在钯薄膜的另一侧，单原子氢重新组合为双原子氢气。