来源：分析测试百科网

    外置标准漏孔是检验氦质谱检漏仪准确性的标准。氦质谱检漏仪是对比性测试仪器，其工作原理是对进入质谱室的氦气分子电离，轰击靶心产生电离，并放大，通过电流大小的判断氦气分子的多少！进入质谱室氦气分子的比例（分流比），还有电气参数的不同，电流相同，漏率可能不同；或漏率不同，电流相同；所有检漏仪本身并不知道放大后的电流对应的漏率是多少，需要参照物，这个参照物就是标准漏孔。

    测试用4个标准漏孔（E-6，-7，-8-，9，单位：mbar.l/s）对两台检漏仪进行标定并给出结果。其中阿尔卡特adixen ASM142在自检通过后，-7，-8，-9比较准确，但-6出现了严重偏差，如果这台检漏仪去检测合格率为-6量级的工件，会产生严重误判。但这不意味这台检漏仪不能工作。这个时候，正确的办法是用-6的漏孔对该检漏仪进行外部校准，用校准好的检漏仪再去检测工件就没有问题。另一台检漏仪是美国雷科LACO T100氦质谱检漏仪，这台检漏仪在每个量级都表现了极高的准确性和一致性。其中的差别是T100检漏仪不再象ASM142这样的用线性拟合的方式，而是充分利用CPU的运算能力以及存储能力，针对各种电位参数，分流比等情况的大量的匹配工作，从而保障检漏仪的精确性。这代表了当前业绩氦质谱检漏仪的先进水准！