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氩气是光谱仪分析的重要因素，光谱仪对氩气的纯度要求也相当高，一般要求控制99.999%纯度的氩气，这对光谱仪检测的正常使用和检测结果的准确性至关重要。

(1) 普通氩气纯度一般不会高于四个9,氩气的的主要功能是对钨电极保护作用,一般光谱激发时由于瞬间电压高、电流大,激发温度都很高,如果氩气纯度不够，对钨电极就会损伤，而且一些高溶点的物质如硅等就激发不充分，在金属表面就会有很多白点，造成检测数据不准。

(2) 普氩还是不要用，几个月后就会激发不了样子了，当然，如果氩气净化器是新的，还能多撑一段时间，不过普氩里杂质较多，对光路尤其是透镜的损坏较大，强烈推荐不用普氩。

(3) 氩气不纯，影响最大的是透镜，导致透镜污染，影响直读光谱仪分析谱线；再者激发时声音表现无力，激发点不充分燃烧，直接影响分析数据，所得数据偏离实际值，不准确。

(4) 高纯氩作为火花室保护气的主体，其纯度高才会形成需要的“聚能放电”否则就是所谓的“扩散放电”引起不良的激发。样品的组织结构越复杂，对氩气的纯度要求就越严格。