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波谱分析和能谱分析的对比

波谱分析和能谱分析都是用于功能型电子显微镜的元素分析。波谱分析和能谱分析均能进行微区分析，波谱分析发展较早，但进展不大；近年来能谱分析成为微区分析的主要手段。两种方法比较如下：

   1.通常的能谱仪对入射X射线的吸收无法探测到超轻元素的特征X射线，但近年出现的单窗口轻元素探测器，可同波谱仪探测器一样探测范围从B（5）到U（92），甚至还可探测Be。

   2.能谱仪接受信号范围宽，需时短。

   3.波谱仪的几何收集效率和量子效率均低于能谱仪。

   4.能谱仪造价比波谱仪低，且操作简便。

   5.能谱仪检测器的分辨率较低，谱峰重叠严重，信噪比较差。

   6.能谱中存在失真，是分析误差的来源；波谱中失真较少。

   7.由于能谱仪的一些问题引起分析误差，导致数据处理的复杂性；波谱仪的数据处理相对比较简单。

   8.波谱仪和能谱仪的空间分辨率基本相同。

   9.波谱可精确的计算成份比例。价格相对能谱贵些。

 10.能谱速度快，操作简单，可以很快的判断元素的成份。