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随着探头制造技术水平的提高、电子学技术的发展,以及对脉冲处理技术和重叠峰处理方法的改进,能谱定量分析的精度得到不断提高。目前,对原子序数在11～30之间的常用元素,其分析精度大体上可以达到波长谱仪的水平。由于能谱定量分析的方法简单、操作方便,它既能进行大试样的平均成份分析,也能进行微粒、薄板、镀层、涂层和相分析,而且一般在3～5分钟内即可得出14种元素的分析结果,因此能谱分析技术发展迅速,有赶上或代替波长谱仪的趋势。