来源：分析测试百科网

1 元素的定性分析。可以根据能谱图中出现的特征谱线的位置鉴定除H、He以外的所有元素。

2 元素的定量分析。根据能谱图中光电子谱线强度(光电子峰的面积)反映原子的含量或相对浓度。

3 固体表面分析。包括表面的化学组成或元素组成，原子价态，表面能态分布，测定表面电子的电子云分布和能级结构等。

4 化合物的结构。可以对内层电子结合能的化学位移精确测量，提供化学键和电荷分布方面的信息。

5 分子生物学中的应用，e.g., 利用XPS鉴定维生素B12中的少量的Co。