来源：分析测试百科网
薄膜测量常用配置
光谱仪
AvaSpec-2048光谱仪，UA光栅（200-1100 nm），DUV镀膜，DCL-UV/VIS灵敏度增强透镜， 100 µm狭缝，OSC-UA消二阶衍射效应镀膜
测量膜厚范围
10 nm - 50 µm，1 nm分辨率
软件
AvaSoft-Thinfilm应用软件
光源
AvaLight-DHc紧凑型氘-卤素光源
光纤
1根FCR-7UV200-2-ME反射光纤探头
附件
THINFILM-STAGE支架，用于固定反射光纤探头 Thinfilm-standard Tile with 3 calibrated different thickness layers of SiO2
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