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从本质上说都是经由原子的能级跃迁产生的。不同的是原子发射光谱研究的是待测元素激发的辐射强度，原子吸收光谱法是研究原子蒸气对光源共振线的吸收强度，是吸收光谱。原子荧光是研究待测元素受激发跃迁所发射的荧光强度，虽激发方式不同，仍属于发射光谱。因为原子荧光光谱法既有原子发射光谱和吸收的特点所以具有二者的优点。以sk-2003AZ原子荧光光谱仪来说，对于大部分的重金属如砷、锑、铋、锡等元素检测线都在0.01ng/ml以下，重复性在0.6以下。有些元素的检测指标甚至优于石墨炉。