来源：分析测试百科网

由于X射线荧光的能量比较大，样品被激发后，产生的特征X射线极易被吸收，而从样品中发射出来的荧光很少，也即是荧光产额很少。因此采用X荧光光谱仪测量微量元素，不是特长，因此不要把精力过分地放在低含量元素分析上。

同理，对于轻元素，如硼、碳、氮、氧等，也不要指望有多好的检出限；但对于高含量的轻元素分析，却有很高的精度。本人曾分析生铁中3%左右的碳，标准偏差不超过0.1%；分析钼铁中60%左右的钼，误差不超过0.2%；分析硅石中90%左右的二氧化硅的含量，误差不超过0.3%等。而对微量元素，镁的检量限，低于0.01%，峰几乎没有了；钠，低于0.05%，峰也没了，连强度都没了还怎么测？由此说明X荧光光谱仪适合于高含量分析，而不适合微量元素的分析。