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    X射线是一种电磁波，波长比紫外线还要短，为0.001- 10nm左右。X射线照射到物质上面以后，从物质上主要可以观测到以下三种X射线。荧光X射线、散射X射线、透过X射线，Atomray CX-5500产品使用的是通过对第一种荧光X射线的测定，从物质中获取元素信息（成分和膜厚）的荧光X射线法原理。物质受到X射线的照射时，发生元素所固有的X射线（固有X射线或者特征X射线）。荧光X射线装置就是通过对该X射线的检测而获取元素信息。

    原理：高能粒子（电子或连续X射线等）与靶材料碰撞时，将靶原子内层电子（如K，L，M等层）逐出成为光电子，原子便出现一个空穴，此时原子处于激发态，随即较外层电子立即跃迁到能量较低的内层空轨道上，填补空穴位。若此时以X射线的形式辐射多余能量，便是特征X射线。当K层电子被逐出后，所有外层电子都可能跳回到K层空穴便形成K系特征X射线。由L，M，N…层跃迁到K层的X光分别为Kα，Kβ，Kγ…辐射。同样地，逐出L或M层电子后将有相应的L系或M系特征X射线：Lα，Lβ…；Mα，Mβ…。Kα，Kβ辐射的波长λ是特征的，它取决于K，L，M电子能层的能量： 可以看出，不同元素由于原子结构不同，各电子层的能量不同，所以它们的特征X射线波长也就各不相同。通常人们将X光管所产生的X射线称为初级X射线。以初级X射线为激发光源照射试样，激发态试样所释放的能量不为原子内部吸收而以辐射形式发出次级X射线，这便是X射线荧光由于各种元素发射具有特定波长（或能量）的标识X射线,可利用锂漂移、硅半导体等不同探测器及能谱分析仪来确定元素的种类。而标识谱线强度可用来确定元素含量。