来源：分析测试百科网

主要用途：

1.表面定性与定量分析. 可得到小於10um 空间分辨率的X射线光电子能谱的全谱资讯.

2.维持10um以下的空间分辨率元素成分包括化学态的深度分析(角分辨方式,,氩离子或团簇离子刻蚀方式)

3.线扫瞄或面扫瞄以得到线或面上的元素或化学态分布.

4.成像功能.

5.可进行样品的原位处理 AES:1.可进行样品表面的微区选点分析(包括点分析，线分析和面分析) 2.可进行深度分析适合: 纳米薄膜材料，微电子材料，催化剂，摩擦化学，高分子材料的表面和界面研究

主要研究领域包括:

(1)TiO2纳米光催化以及在空气和水净化方面的应用;(2)汽车尾气净化催化剂新型金属载体的研究;

(3)纳米药物载体及靶向药物的研究;

(4)纳米导电陶瓷薄膜材料的研究;

(5)纳米杂化超硬薄膜材料及摩擦化学的研究;

(6)纳米发光材料及纳米分析化学研究;

(7)有机电致发光材料的表面化学研究;

(8)纳米材料在香烟减毒净化上的应用研究;

(9)无机纳米杀菌与抗菌材料及其在饮用水净化上的作用;

(10)电解水制氧电极材料的研究