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原子在受到热或电的激发时，由基态跃迁到激发态，返回到基态时，发射出特征光谱叫做原子发射光谱，而根据处于激发态的待测元素原子回到基态时发射的特征谱线对待测元素进行分析的方法称为原子发射光谱法。ICP-AES的特点是可以进行多元素检测，选择性高，检出限低，准确度高。
原子荧光光谱是基于基态原子吸收特定波长光辐射的能量而被激发至高能态，受激原子在去激发过程中发射出的一定波长的光辐射，根据这一原理制成的可以检测元素含量的仪器叫原子荧光光谱仪（光度计），比如SK-2003A,线性宽度大于三个数量级，重复性小于百分之0.6%。
原子吸收光谱是基于气态的基态原子外层电子对紫外光和可见光范围的相对应原子共振辐射线的吸收强度来定量被测元素含量为基础的分析方法，是一种测量特定气态原子对光辐射的吸收的方法。