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高分辨电子显微像是让物镜后焦面的投射束河若干衍射通过物镜光阑，由于他们的相位相干而形成的相位衬度显微图像。由于参加成像的衍射束数量不同，得到不同名称的高分辨像。

高分辨电子显微像的拍摄是一项十分细致费时的工作，需要注意很多问题，比如：

（A）对含有非晶结构的膜拍摄高分辨像，应注意图像中晶区和非晶区特别是界面处的细节；含有纳米晶和非晶区的纳米晶试样，拍摄高分辨像会更容易一些。当晶区和非晶区边界细节模糊时，说明加速电压和透射电流稳定性或者工作环境稳定性有问题。此外，非晶膜的傅里叶变换花样和衍射花样的质量，可以用来判断不稳定的波数范围。

（B）高分辨像的质量和拍摄时的聚焦漂移与试样漂移关系极大。聚焦漂移是指聚焦随着时间推移会向着欠焦或者过焦的一侧移动的现象，如图七中（D）（E）所示。

（C）试样漂移一般出现在试样刚刚插入试样台的瞬间，以及刚加液氮也会产生影响，因此要测定上述两种操作之后使试样达到稳定的时间。这个时间有时甚至长达2~3min。

（D）确认物镜球差系数。一般可以依据厂家提供的数据，正确操作，选定最佳聚焦量，从而达到最佳的分辨率水平。