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电子探针是目前微区元素定量分析最准确的仪器。电子探针的检测极限(能检测到的元 素最低浓度)一般为（0.01－0.05）wt%， 不同测量条件和不同元素有不同的检测极限，但 由于所分析的体积小，所以检测的绝对感量极限值约为 10-14 g，定量分析的相对误差为(1— 3)%，对原子序数大于 11，含量在 10wt% 以上的元素，其相对误差通常小于 2%。