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超纯水（Ultrapure water）又称UP水，是指电阻率达到18 MΩ*cm（25℃）的水。这种水中除了水分子外，几乎没有什么杂质，更没有细菌、病毒、含氯二噁英等有机物，当然也没有人体所需的矿物质微量元素，也就是几乎去除氧和氢以外所有原子的水。可以用于超纯材料（半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等）应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术的制备过程^[1] 。

• 中文名

• 超纯水

• 外文名

• Ultrapure water

• 别    名

• UP水

• 定    义

• 电阻率达到18MΩ*cm（25℃）的水

• 特    点

• 水中几乎没有杂质

• 应    用

• 器皿清洗、光刻掩模版制备等