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该系统由X射线发生器、光谱仪主体部分、电气部分及系统控制器、计算机部分组成。

3.1 X射线发生器
X射线发生器由高压变压器及管流管压控制单元、X射线管、热交换器。 3.1.1高压变压器及管流管压控制单元
产生高稳定的高压加到X射线管上用以产生X射线。这里利用高电压加速的高速电子轰击X射线管金属靶面产生X射线的原理。 3.2 光谱仪主体部分 3.2.1 样品进给器
样品进给器，是样品进入真空系统的一个过渡。因为荧光X射线在空气中会被衰减，所以样品分析需要在真空环境下进行。这样，试样就需要从大气状态进入真空环境。 3.2.2 样品室
样品室连接样品进给器和分析室，与二者一起组成真空腔。样品在样品室里完成样品的升举、下降、样品交换和自旋。 3.2.3 初级x射线滤片
滤片的作用是消除可能提高背景或对某些元素产生迭谱干扰的特征谱线，从而提高对这些元素分析的灵敏度。滤波片采用K吸收缘介于元素的Kα和Kβ的波长之间的材料制成。 3.2.4 光阑
由于来自X光管的X射线不仅照射到分析样品上，也会照射到样品盒及样品罩上。而产生来自样品盒或罩上的不需要的荧光射线，从而影响分析精度，因此使用了光阑系统来保证只允许来自分析样品的荧光X射线进入计数器。 3.2.5 狭缝
来自样品的荧光X射线和散射线都不是单一方向的，入射狭缝装在样品和分光晶体之间，它只允许指向分光晶体方向的荧光X射线通过，而吸收其它方向的射线，从而提高了光谱分辨率。 3.2.6 晶体交换器与分光晶体
入射光线(即透射光线)与衍射光线之间的夹角一定等于2θ，光谱仪装有八个位置的晶体交换器，可以选择安装如下晶体：

LIF(200)：用于重元素测量(Ca以上元素)。 PET(002)：用于轻元素测量(Al到Ti之间)。 TAP(100)：用于测量Mg、Na、F。 Ge(111)：用于测量S、Po RX—4：用于测量51。 EDDT(020)：同PET。 ADP(101)：用于测量Mg。 3.2.7 计数器
系统使用两种计数器，一种是流气正比计数器，一种是闪烁计数器。通常正比计数器，用于测量波长长于Cu Kα(其波长为0.154mn)的光谱。而闪烁计数器用于测量波长短于Ca Kβ(其波长为0.336nm)的光谱。 3.2.8 真空系统
由于荧光射线在空气中会被吸收，从而降低荧光射线的强度，所以分析需要在真空环境里进行。 3.2.9 举升机构
升举机构，升举时将样品盒送至样品进给器中，下降时将样品盒送至样品交换器的样品圆盘上。 3.2.10 样品自旋
样品自旋，可以使制备的样品匀速旋转，以消除由于样品表面元素分布不均匀所产生的计数误差。