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1895 年，德国物理学家伦琴 ( Roentgen WC) 发现了 X射线。1896 年，法国物理学家乔治( Georgs S) 发现了 X射线荧光。1948 年，弗利德曼( Friedman H． ) 和伯克斯( Birks L S)首先研制了第一台商品性的波长色散 X射线荧光( WDXRF) 光谱仪。1965 年，探测 X射线的 Si( Li) 探测器问世了，随即被装配于 X射线荧光光谱仪上，成为能量色散 X射线荧光( EDXRF)光谱仪的核心部件。1969 年，美国海军实验室 Birks 研制出第一台真正意义上的EDXRF 光 谱 仪。二 十 世 纪 七 十 年 代 初，EDXRF 光谱仪正式跨入仪器分析行业。与此同时，还相继出版了多部有关 EDXRF 光谱分析的论著。近半个世纪以来，随着半导体技术和计算机技术的迅猛发展，特别是半导体探测器出现和性能不断地提高，EDXRF 光谱仪的生产和应用也得到了快速发展，其市场占有量已与WDXRF 光谱仪平分秋色。目前，我国有多家研制、生产、组装 EDXRF 光谱仪的厂商，其产品主要性能指标基本接近国际先进水平。EDXRF 分析技术发展至今，已成为一门较为成熟的分析技术，被广泛用于冶金、地质、矿物、石油、化工、生物、医疗、刑侦、考古等诸多部门和领域。EDXRF 光谱仪已成为对物质的化学元素、物相、晶体结构进行试测、对人体进行医检和微电路的光刻检验等的重要分析工具，是材料科学、生命科学、环境科学等普遍采用的一种快速、准确而又经济的多元素分析仪器;EDXRF 光谱仪已成为理化实验室的重要工具，是野外现场分析和过程控制分析等方面首选仪器之一。